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溅射靶材进口韩国实务:归类、出口管制与返程环节

发布于 作者 GJ Park

三个监管主体看着同一件溅射靶材,看到的是三种不同的物品。在海关关员眼中,它是机器零件还是一块金属,取决于它焊接在什么上面。在中国出口管制清单眼中,它是一种靶材——七种稀土元素各自设有专属管制编码的一种列名形态。在品质工程师眼中,它是一份规格书,背后却没有任何现行标准可依:所有专为溅射靶材制定的ASTM标准均已废止。本指南列出韩国买方在下达第一笔订单之前必须厘清的问题,附三点提醒。我们未能核实任何一条与靶材相关税则号的现行韩国关税率,因此下文不列出任何现行税率——文中出现的唯三个税率,均是2022年一项税务法院裁决针对特定二手货物所引用的税率,并已如实标注。归类问题仍悬而未决,并非定论;我们找到的唯一权威评论止步于一段无法读取全文的预览。至于你送回国的用过靶材——也就是你所购之物的大部分——其海关处理方式,我们未能查明。

免责声明: 本文旨在提供一般性实务信息,并非法律、关务或出口管制方面的意见,也不对任何具体交易的归类、税率或法律判定作出保证——请向持牌关务师核实,并就管制状态直接向主管机关确认。我们对中国出口管制清单的解读属于分析,而非法律意见,且规则会变化。

不存在"溅射靶材"这一专属税目

商品归类目录里没有专门对应该物品的一行。中国海关实务给这场争议起了名字:成分说与功能用途说之争——前者主张铜靶材的属性由其材质(铜)决定,后者主张由其机器用途决定。

功能说这条线通向8486税目:专用或主要用于半导体或平板显示器制造的机器,含零件及附件。"专用或主要"四字是关键——若靶材是供玻璃镀膜、光学镀膜、卷绕镀膜或装饰性PVD产线使用,则会退回按材质归类。

靶材材质 若不适用8486,退回的税则号
钨(W) 8101
钼(Mo) 8102
钽(Ta) 8103
钛(Ti) 8108
铜(Cu) 7409——厚度超过0.15 mm的板、片与带

我们未能核实铝靶材或硅靶材的归属税则号,因此下文不列出。

在韩国,这一问题在公开文献中仍悬而未决:2026年4月的一篇贸易类期刊评论,将铜靶材案例明确置于제7409호与제8486호之间进行讨论。我们未能取得该文的结论部分,也不会去猜测——若有人告诉你韩国将铜靶材归入8486税目,那是我们无法确认的说法。另有一项韩国裁定将ALD石墨基座(susceptor)归入8486.90-2040,而非陶瓷类税目——虽未提及靶材,但具有参考意味。

美国早已就自己的版本作出定论。HQ 964845(2002年)裁定此类靶材属于机器零件,而非机器加工的材料——理由是"在溅射机运行中发挥不可或缺的作用"——此后又扩展适用于ITO、铬、铜、钼与钛靶材。但这些都不能为韩国提供一个税则号。

焊接与否会改变答案,韩国税务法院已就此表态

조심2020관01382022年2月22日)一案中,韩国税务法院(조세심판원)就三种形态的旧ITO靶材作出裁决:裸型(已拆除背板,呈碎片状)、RT型(焊接于钛制背衬管)、PT型(焊接于铜制背板)。海关此前将三者均核定为工业陶瓷制品。

形态 海关核定 进口商主张 税务法院裁定
裸型(已拆背板) HSK 6909.19-0000 기본세율 8% HSK 3825.69-0000 협정세율 6.5% 3825.69-0000 6.5%
RT型(钛制背衬管) HSK 6909.19-0000 8% HSK 8486.90-3030 양허세율 0% 8486.90-3030 0%
PT型(铜制背板) HSK 6909.19-0000 8% HSK 8486.90-3030 0% 8486.90-3030 0%

6909.19为陶瓷制品;3825.69为化学工业废料;8486.90-3030为显示器机械零件。上表中的税率,均是该2022年裁决针对那些特定二手货物所引用的税率——并非现行税率,也不适用于全新靶材,更不应被搬进报价单。我们之所以照录这些数字,是因为差距本身就是重点:同一种材料,裸装时落在废料税目,焊接后则落在机器零件税目。

就裸型而言,税务法院认定,与背板分离后的旧靶材无法保持完整形状,类似此前一个委员会将破碎的旧ITO归为3825材料的处理方式。就RT型与PT型而言,法院认定该组件为单一物品,因为背板已安装于设备内,并执行设备所需的功能——形成磁场、冷却、旋转。这项裁决针对的是靶材,并非一般性规则——诚实的说法不是"未焊接的靶材在韩国就是废料",而只是这一区分曾经决定过一个案件的结果,且是朝着某一特定方向决定的。买方或可推论,加装背板使该物品成为机器零件;但裸靶要走到这一结论,须另寻其他依据。"靶材裸片"与"已焊接的靶材组件"不应被假定共用同一税则号。 进口商自己的历史记录反而被用作对其不利的证据——它此前曾将背衬管单独申报,并以可重复使用的包装容器为由申请再出口免税,这一主张的前提是该管并非设备的组成部分。你不能在进口时把这块板称作包装,出口时又称作机械。

这一问题应通过**관세법 제86조(품목분류 사전심사)**下的事先裁定程序来解决,由관세평가분류원院长作出决定,该机构隶属于韩国관세청——其英文名称我们未能确认。期限:30日,不含补正/鉴定所需时间,裁定结果依관세법 제87조持续有效,直至变更为止。应就你实际要进口的物品申请——针对裸靶申请的裁定,未必能回答焊接组件的问题,反之亦然。关于如何预先确定归类的实例,参见我们的SiC指南;关于裁定结果与实际货物不符的情形,参见我们的YSZ指南

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中国管制清单点名了靶材——七种稀土全部在内

我们的YSZ指南曾提及一种钇锆合金靶材——那只是一个更大事实中钇的那一部分。2025年第18号公告(中国商务部/海关总署,2025年4月4日)对七种稀土实施管制,每种稀土各设有一个专属的**.a.3靶材子项**,分别点名纯靶材与合金靶材两种形态。

元素 管制编号
1C902.a.3
1C903.a.3
1C904.a.3
1C905.a.3
1C906.a.3
1C907.a.3
1C908.a.3

公告对每一项均援引海关编码38249999228486909110。其注2堵上了一个漏洞:管制范围涵盖片材(片)与管材(管)形态——正因清单写的是"靶材",可旋转的管状靶材才被纳入其中。该注未被列入2025年11月的暂停名单,2026年年中仍然有效。

2025年第61号公告更进一步,新设了一整个类别——"稀土靶材",其效力延伸到中国境外:凡产品价值中中国原产受管制稀土占比达0.1%或以上,境外出口商即须取得商务部的两用物项许可,并须随货附带合规声明。后续一份公告已在2025年11月将其暂停实施,但暂停只是暂缓,而非废止。相关日期时有变动,我们在时间线中持续追踪;关于某批货物应适用哪个许可时钟,参见我们的指南

对上述七种元素而言,"靶材"是一个拥有自身专属编码的列名品项——这与镓、锗、铟的情况不同,后者的问题在于:靶材是否是一种被列管物质所呈现的未列管形态

  • 铟。 2025年第10号公告仅管制磷化铟、三甲基铟与三乙基铟。其中既未出现"靶材"字样,也未提及氧化铟锡——所谓"中国的铟管制涵盖ITO靶材"是一种常见但错误的说法。
  • 锑。 2024年第33号确实点名了靶材,但仅限于纯度/位错密度超过规定阈值的锑化铟——这是红外探测器用品项,并非主流采购对象。
  • 镓/锗。 2023年第23号从未使用"靶材"一词,但每一项镓管制条目所列形态都注明"包括但不限于",因此氧化镓靶材可以被主张为一种未列名形态——IGZO则更难判断,因为没有对应的混合物子项。目前没有已公开的认定——我们也不会提供一个。 应按三年来的镓与锗管制所示,写明形态本身,而非只写元素名称。
  • 石墨。 我们并未完整阅读2023年12月发布的那份公告;请将其视为未经核实,而非已经明确。

中国税则对已焊接组件设有专属税号,并依管制状态细分:8486.90.9100(带背板的溅射靶材组件)、8486.90.9110(两用物项管制的带背板的溅射靶材组件)、8486.90.9190(其他的带背板的溅射靶材组件)——8486909110正是前文所引两个海关编码之一,而计税单位是"已焊接"的组件,这与韩国税务法院的立场相印证。

韩国自身的战略物资一侧

韩国的战略物资管制依据「전략물자 수출입고시」(산업통상부고시 제2025-37호,自2025年12月31日起施行)运作,透过자가판정사전판정,经由YESTRADE무역안보관리원(该机构已于2024年8月由전략물자관리원更名而来,英文简称KOSTI)办理。

我们检索了별표 2。"타겟"一词仅出现在核能相关条目中(1A228,氚生产组件)——并没有专门针对溅射靶材本身的条目,因此"韩国清单管制溅射靶材"这一说法,照字面讲是不成立的。更棘手的是:有若干条目按规格捕捉靶材所用的材料本身。

管制编号 涵盖对象 值得关注的原因
1C230 铍及铍含量超过50%的合金、化合物及其制品——电子基板用氧化物形态设有除外条款 铍/氧化铍靶材="其制品";除外条款本身即是一项认定
1C231 铪及铪含量超过60%的合金、按重量计铪含量超过60%的化合物、及其制品 HfO₂按重量计的铪含量为84.8%(我们自行计算)——高于门槛。是最具现实意义的一项
1C234 铪含量按重量计低于1/500的锆 仅限核级
1C226 钨及钨含量超过90%的合金,同时满足内径100–300 mm质量超过20 kg、中空圆柱形 大型可旋转管状靶材有可能同时满足两项条件

另外,2B005.e依性能对溅射沉积设备实施管制;韩国管制的是镀膜设备本身,靶材只有在自身规格符合条件时才会被一并纳入(별표 2 PDF,访问于2026年8月)。

此外,전략물자管制属于出口管制——其作用于出口/再出口环节,包括送回的旧靶材。在进口环节,韩国并没有针对战略物资的进口许可;取而代之的是수입목적확인서,用以确认进口商所申报的用途,以及不得转运的承诺,因此应由你的供应商将其附在的许可申请中。核发期限为7日以内,不含审查所需时间,依据대외무역법 시행령 제47조의2제2항与전략물자 수출입고시 제61조제3항办理。

K-REACH:问题出在第二项条件

我们的SiC粉末进口指南已建立了"两项义务"这一框架:属于既有化学物质,只能排除新物质登记这一条路径;登记与年度申报是两项各自独立的义务。这一框架同样适用于本文;靶材特有的问题在于制品豁免。

韩国的自动豁免制度,依据的是환경부고시 제2018-234호「등록 또는 신고 면제대상 화학물질」(就我们最近确认到的信息而言,该公告的日期为2018年;此后是否已被修订,仍是一个有待重新核实的问题),依我们取得的文本,豁免对象为:具有特定固态形态、执行特定既定功能、且在使用过程中不释放的物质。无需提交确认申请,但进口商须保留文件以备查验。

靶材很容易满足第一项——它是一种固态形态,其功能由形状决定——但可以论证其未能满足第二项,因为溅射的本质正是在使用过程中释放材料,恰与该豁免条款似乎针对的"注塑件中的颜料"情形相反。这是我们的解读,而非一项定论——但**"这是一块固态金属制品,因此K-REACH不适用"并非一个可以安全依赖的假设**,在首批出货之前应交由专业人士判断。粉体的情形也有所不同:粉体无可争议地属于"物质",而已焊接的靶材则至少可以主张属于"制品"。K-REACH现由기후에너지환경부主管,登记/评估工作由화학물질안전원负责。

没有现行标准可依——所以合同就是标准

所有专为溅射靶材制定的ASTM标准均已废止。

标准 主题 状态
ASTM F1709-97(2016) 用于电子薄膜应用的高纯钛溅射靶材 2023年废止,无替代标准
ASTM F1512-94(2011) 溅射靶材—背板组件的超声波C扫描焊接质量评估 2020年废止
ASTM F3166-16 用于硅通孔金属化的高纯钛溅射靶材 2023年废止
ASTM F3192-16 用于硅通孔金属化的高纯铜溅射靶材 2023年废止

无论你想要什么规格,都必须写进合同——除此之外,没有任何其他文件可供援引。

  • 纯度。 F1709曾指出,"等级标示是对金属杂质总含量的度量",而非适用性本身的度量。该标准覆盖4N、4N5、5N三个等级,并另行要求分析微量金属、碳、氧、硫、氮、氢——这一点在专利文献中也有呼应("4N至6N,不含气体成分")。"99.999%"告诉你的是金属方面的信息,对气体成分可能只字未提,而气体成分往往才是决定薄膜质量的关键。应另行规定O/C/N/H的限值,以及其计算基准。
  • 密度。 相对密度是以阿基米德法测得的堆积密度与理论密度之比;专利文献主张99%以上可防止拉弧,但一篇经同行评审的ITO研究(2005年11月,仅有摘要)报告称,密度**超过99.5%**后结瘤反而增加。之所以要规定密度,是因为密度过低会导致拉弧,同时也要标注:在ITO上,这一关系在高端并非单调——数值越高不一定越好。没有任何ASTM密度标准专门点名靶材(B962仅点名了检测方法本身)。
  • 晶粒尺寸。 更细且均匀的晶粒可改善均匀性与沉积速率,并减少微弧放电。应依ASTM E112(引自专利文献,属二手引用)同时规定平均晶粒尺寸均匀性判定标准。
  • 焊接。 铟的熔点为156.6°C,这决定了可用功率密度的上限;弹性体焊接可耐受更高温度,但须针对具体腔体完成验证。F1512能够检出3 mm及以上的未焊合区域,但——"合格/不合格判定标准并未规定,须由靶材供应商与使用方另行约定"——该标准现已废止。若你的采购订单未写明焊合面积百分比、最大空洞尺寸与检测方法,那就没有任何文件规定这些内容。一家日本焊接厂公开的数据是焊合面积超过95%、空洞占表面比例低于0.5%——但这只是一家公司自订的标准。平坦度/尺寸公差方面,我们未能从一手资料中核实到任何数据。

一份COA应汇总以上四项内容,并附上对照图纸的尺寸/平坦度/平行度数据,以及量产批次(而非样品批次)的身份标识。GDMS与超声波检测是我们所要求的两套数据,列于我们的其他材料页面;批次验证方法参见我们的SEM/EDS方法

靶材大部分从未被真正用掉

溅射靶材大部分并不会被消耗,而是大部分会被送回。

几何形态 更换前实际被溅射消耗的比例 出处
平面型 30%;约70%作为不可用残料留存 2015年韩国一篇经同行评审的论文,刊于Clean Technology,将这一上限归因于等离子体跑道式侵蚀阻碍了磁场的正常形成
旋转/圆柱型 75% 在조심2020관0138案中,被双方作为无争议的事实前提援引

这两个数字描述的是两种不同的几何形态,绝不能被并置为对同一种靶材的描述;"利用率"一词在使用时含义相反——有时指被使用掉的那30%,有时指作为上限的那30%。由此带来的后果是:对平面型靶材而言,产出既定薄膜数量所需的材料成本,相当于购买三块靶材以上的价格,而非一块——这正是为什么送回靶材的处置路径应写入第一份合同,而不是事后再补的原因。

返程环节,是我们答案用尽的地方

与其给出一个在口岸站不住脚的自信答案,我们宁可坦白说出我们未能查明的部分。

  • 关税退税:悬而未决。 该制度依据「수출용 원재료에 대한 관세 등 환급에 관한 특례법」运作(未给出英文名称;网络上流传的英译版本并非政府官方译本)。제3조涵盖用于生产出口货物而被消耗的原材料,但不包括设备维护等间接消耗。제9조规定的窗口期为2至3年;经2022年修订后,제14조规定的申请期限自出口起算为5年——目前网上仍在流传的"2年"这一数字已被取代。诚实地说:靶材更接近工具,而非被并入产品的原材料——它确实被消耗了,但离开韩国的是残料,而非含有该原材料的产成品。我们没有找到任何关于旧靶材是否符合退税资格的裁定、指引或决定。 在获得书面确认之前,不要将此纳入规划。
  • 再出口关税豁免:确实存在,但也有前文所述的陷阱。 관세법 제97조对在规定期限内再出口的货物免征关税,且该期限可因不可抗力事由延长;若将货物挪作他用或转让,将立即触发追缴关税,并处最高500万韩元的罚款。背衬板/背衬管所使用的正是这一工具——存在与前文相同的禁反言陷阱。(另有관세법 제98조,即재수출감면세,我们未能取得其条文内容。)
  • 废弃物法规:一项没有人为其定价的风险敞口。 폐기물관리법将废弃物定义为企业业务活动中不再需要的物质。据报道的韩国大法院判例——대법원 2010. 9. 30. 선고 2009두6681——认定,被排出的物质即便是作为回收原料供应,仍属废弃物(此信息来自检索摘要,而非数据库原文——为转述而非逐字引用)。可行的出路是依「순환경제사회 전환 촉진법」제21조(自2024年1月1日起施行)申请순환자원认定:主管部门可在物质无害、具经济可行性、可交易,并符合施行令所定标准的情况下,认定其为循环资源——须提出申请,并非自动适用。跨境移动分为两个层级:수출입규제폐기물(列入巴塞尔公约名单者)需取得허가(许可)수출입관리폐기물依제18조의2仅需신고(申报),10日内答复,层级划分依据환경부고시 제2020-292호。我们未能取得该公告的附件,也未能确认韩国的清单是否与巴塞尔公约附件九一致,更未能找到任何铟/ITO相关条目。 我们唯一找到的规律,是该案裁决中提及的一家公司的做法:进口、拆解/重新焊接、正常出口,背衬部分则依再出口豁免另行处理。

可以确立的一点是:返程环节究竟属于常规出口,还是需要申报或取得许可的废弃物运送,取决于归类与循环资源认定——而非货物价值。 装运前的拆解焊接,可能同时改变海关税号与所适用的监管制度。应在第一份订单之前,就此在合同中作出约定。

下第一笔订单之前应做的事

  1. 确定你要进口的对象——是已焊接组件,还是裸靶——并针对物品申请품목분류 사전심사。
  2. 就背板问题确立单一立场,并使其在归类、再出口豁免与返程环节三处保持一致,且形成书面文件。
  3. 就稀土、镓、锗、铟或石墨取得书面的管制认定——不要自行推断。
  4. 索取出口商申报的十位编码并加以核对。
  5. 对照별표 2按规格核查材料,而非仅凭"靶材"一词,并及早向供应商提供수입목적확인서。
  6. 将K-REACH问题交由专业人士处理;粉体与已完成靶材的进口情形并不相同。
  7. 按上文COA核对清单,自行写明规格要求。
  8. 在首批出货前确定返程路径,并将残料成本计入单位成本。

承载许可风险的合同条款设计,参见出口管制时代的采购策略;供应商方面的问题,参见我们的供应商审核清单

常见问题

溅射靶材在韩国适用什么HS编码?

没有专属编码。两条路线彼此竞争:功能路线(专用或主要用于半导体或平板显示器制造的机器零件,8486税目)与材质路线。2026年4月一篇韩国评论文章,就铜靶材在제7409호与제8486호之间提出了这一问题;其结论我们未能取得。应通过관세법 제86조下的事先裁定程序确定适用税则号。

将靶材焊接到背板上,会改变归类结果吗?

在韩国会。조심2020관0138(2022年)裁定,仍焊接于钛制背衬管或铜制背板上的旧ITO靶材属于单一物品,为平板显示器机械的零件,而已拆除背板的裸材料则归入化学废料税目。这是一项针对特定二手货物的裁决——但裸靶与已焊接组件不应被假定共用同一税则号。

溅射靶材是否受中国出口管制约束?

取决于所涉元素。对于2025年第18号公告下的七种稀土,"靶材"是一种拥有专属管制编码的列名形态,其注2确认片状、板状与管状形态均在管制范围之内。对于镓、锗与铟,靶材并非列名形态——针对混合氧化物,目前没有已公开的认定。有一种常见说法是错误的:中国对铟的管制涵盖磷化铟、三甲基铟、三乙基铟——而非ITO或靶材。

溅射靶材是否作为固态制品而豁免于K-REACH?

并非不言自明。韩国的豁免要求物质同时满足两项条件:具有执行特定既定功能的特定固态形态,在使用过程中不释放。靶材满足第一项,但可以论证其未能满足第二项,因为溅射按其设计本身就会释放材料——这是我们的解读,而非一项定论。

送回国进行回收的旧靶材,能否申请关税退税?

我们不知道,也不建议将此纳入规划。退税法规涵盖被并入出口货物的原材料,但不包括设备运转中的间接消耗;旧靶材恰好落在这两者之间,处境尴尬,因为离开韩国的是残料,而非含有该原材料的产品。我们未能找到任何相关裁定——관세법 제97조下的再出口豁免是另一项工具,有其自身的陷阱。

参考资料(公开来源)

  • 韩国税务法院조심2020관0138,2022年2月22日——归类、背板认定理由、消耗数据、再出口豁免。
  • 中国商务部/海关总署2025年第18号公告(中文原文+律所英译本)及2025年第61号通知(美国某大学译本)——靶材子项、注2、"稀土靶材"、0.1%规则、合规声明、依据贸易类媒体报道的暂停实施情况。
  • 商务部/海关总署2025年第10号公告(铟)、2024年第33号公告(锑)、2023年第23号公告(镓/锗)——中文原文;关税代码8486.90.9100/.9110/.9190。
  • 美国CBP裁定HQ 964845(2002年)、NY N303633、NY N306310(2019年)。
  • 韩国海关/관세평가분류원关于관세법 제86조的资料;관세무역개발원《주간 관세무역정보》제2177호(结论未取得);한국관세신문(ALD基座相关报道)。
  • 「전략물자 수출입고시」/별표 2(2026年8月:1A228、1C226、1C230、1C231、1C234、2B005.e);무역안보관리원(KOSTI)/YESTRADE;수입목적확인서相关依据。
  • 한국화학융합시험연구원——환경부고시 제2018-234호。ASTM F1709、F1512、F3166、F3192、B962。
  • Hong与Lee,《Clean Technology》第21卷第4期,2015年;Thin Solid Films,2005年11月(仅摘要);有关晶粒尺寸/纯度的美国专利文献;一家日本焊接厂的自订标准。
  • 관세법 제97·98조;「수출용 원재료에 대한 관세 등 환급에 관한 특례법」제3·9·14조;폐기물관리법;「순환경제사회 전환 촉진법」제21조;「폐기물의 국가 간 이동 및 그 처리에 관한 법률」제18조의2;환경부고시 제2020-292호。

上述数据均反映撰写时点的公开信息;管制清单、暂停实施情况与归类实务均可能随时变动。

Nami Tech Solutions(NTS)并未将溅射靶材作为常备现货品项,以上内容也不构成任何库存要约。我们所做的是项目制工作:针对实际将要发运的物品确定归类与管制认定,将纯度基准、焊接图与返程路径写入同一份规格书,并将许可或有条款作为普通合同条款加以落实。

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