適用於 12 吋與 8 吋晶圓廠製程的矽(Si)、碳化矽(SiC)及特殊晶圓。
具備 GDMS 與 UT 品質數據的 Cu、Al、Ag 高純度靶材。
半導體晶圓廠用高純度製程氣體與載氣。
用於 PM 保養的泵浦、閥門、接頭與 O 型環。