화학기상증착(CVD)으로 성장시켜 기판에서 분리한 탄화규소입니다 — 코팅이 아니라 자립형 소재입니다. CVD는 반도체 공정 챔버가 요구하는 순도에 도달하는 경로이며, 그래서 서셉터·포커스링·플레이트는 소결 SiC가 아니라 CVD-SiC로 지정됩니다. 저희는 이를 완성도의 세 단계로 공급합니다: 평가용 시편, 자체 가공용 소재(blank), 도면 기준 완성 부품. 여기서의 서비스는 소재만큼이나 서류 작업입니다 — 순도·저항률·평면도는 측정 조건 없이는 아무 의미가 없으므로, 검사 항목과 그 측정점을 발주 전에 서면 날인 문서로 확정하고, 입고 검사는 그 문서를 근거로 이루어집니다.
검사 항목과 그 측정 조건을 발주 전에 서면으로 확정합니다 — 작은 시편에서 검증하는 비용은 실물 크기 소재에서 불일치를 발견하는 비용의 일부에 불과합니다.
등급
| SKU | 등급 | Typical | 용도 |
|---|---|---|---|
| NTS-CVDSIC-T | 시편 (Φ100) | 고순도 CVD-SiC, 두께 협의 | 평가·검증 |
| NTS-CVDSIC-B | 소재(blank) | Φ300–335 mm급, 두께 7–14 mm 협의 | 자체 가공 보유 고객 |
| NTS-CVDSIC-M | 가공품 | 도면 기준 연삭·랩핑 | 완성 부품 조달 |
NTS-CVDSIC-T — 평가용 시편
실제 양산 소재의 Φ100 디스크로, 두께는 협의하며, 실물 크기 소재나 부품에 착수하기 전 검증용입니다. 직접 측정을 수행하고 그 결과로 양산 발주용 검사 문서를 작성하십시오.
NTS-CVDSIC-B — 가공 소재(blank)
Φ300–335 mm급 자립형 CVD-SiC로, 두께는 협의(7–14 mm)하며, 자체 연삭·랩핑을 보유한 고객을 위한 소재로 공급합니다. 서면 검사 합의는 소재 물성을 다루며, 형상 관리와 도면은 고객의 몫입니다.
NTS-CVDSIC-M — 도면 기준 가공
전 과정을 아우릅니다: 소재 제작, 그다음 고객 도면에 맞춘 연삭·랩핑, 완성 부품으로 납품. 치수·표면 기준이 소재 기준과 함께 하나의 합의된 검사 문서에 담깁니다.