用于功率半导体的4H-SiC衬底——肖特基二极管与MOSFET。SKU按晶圆厂的需求方式划分:按等级(prime用于器件量产,dummy与test用于工艺调试),以及晶圆是裸片到货还是已按你的规格生长好外延层。
8英寸面的可用面积约为6英寸的1.78倍——这约78%的增益正是把器件产线推向更大尺寸的原因。
等级
| SKU | 等级 | 典型值 | 应用 |
|---|---|---|---|
| NTS-SICW-6P | 6" Prime | N型4H,350 µm级,微管密度按订单约定 | 器件量产与开发 |
| NTS-SICW-6D | 6" Dummy / Test | N型4H | 工艺调试与设备测试 |
| NTS-SICW-8P | 8" Prime | N型4H | 下一代产线 |
| NTS-SICW-EPI | 外延片 | 厚度与掺杂按你的规格 | 单一来源外延采购 |
NTS-SICW-6P — 6英寸 prime
用于器件量产与开发批次的350 µm厚度级N型4H衬底。微管密度及其余缺陷判据按订单约定,因为二极管批次可容忍的水平与MOSFET批次可容忍的水平不是同一个数字。
NTS-SICW-6D — 6英寸 dummy / test
同一尺寸、但不带prime级缺陷判据,用于工艺调试、设备验证与短流程测试——这类消耗不应烧掉prime材料。
NTS-SICW-8P — 8英寸 prime
用于下一代产线的8英寸N型4H prime衬底。可供性取决于规格;把你打算跑的规格发来,我们先答复可行性。
NTS-SICW-EPI — 外延片
衬底与外延作为一次采购交付,厚度与掺杂按你的规格。我们审核外延规格表,并逐一对照各制造商自有的格式,因为同一目标在不同外延厂写法不同,而这些差异会以良率而非文书的形式浮现。