製品
ウェーハ
12インチおよび8インチのファブ工程向けSi、SiCおよび特殊ウェーハ。
| Property | Specification |
|---|---|
| Material | Si, SiC |
| Diameter | 300mm (12-inch) / 200mm (8-inch) |
| Thickness | 725 ± 15 μm |
| Resistivity | 1–100 Ω·cm |
| Crystal Orientation | <100>, <111> |
12インチおよび8インチのファブ工程向けSi、SiCおよび特殊ウェーハ。
| Property | Specification |
|---|---|
| Material | Si, SiC |
| Diameter | 300mm (12-inch) / 200mm (8-inch) |
| Thickness | 725 ± 15 μm |
| Resistivity | 1–100 Ω·cm |
| Crystal Orientation | <100>, <111> |