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Gas speciali

Gas di processo e gas vettore ad alta purezza per fab di semiconduttori.

PropertySpecification
Gas TypeNF₃, SF₆, SiH₄, NH₃, N₂O
Purity99.999% – 99.9999% (5N–6N)
PackagingCylinder / Tube Trailer
DeliveryOn-demand / VMI

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